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TURBOVAC i磁懸浮分子泵

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  杭州首泉真空設備有限公司是一家致力于服務真空領域,集研發、設計、生產、安裝調試、銷售和售后服務于一體的專業真空設備實體型制造廠商,竭誠為廣大用戶提供真空系統相關的全面技術解決方案。
 
  首泉真空成立于2015年9月,2018年成為德國依博羅閥門的代理商。公司核心團隊成員來自合肥工業大學真空專業,以及在國內外有名真空公司的優秀人才,尤其在真空系統的設計、加工、制造方面擁有較高水平。
 
  公司是德國萊寶真空的授權代理商以及多家全球有名真空設備制造企業的合作配套集成廠商,目前主要產品有:磁控濺射鍍膜機、熱蒸發鍍膜機、電子束蒸發鍍膜機、有機物蒸發鍍膜、脈沖激光沉積系統(PLD)、CVD管式爐、(超)高真空系統、多工位高真空排氣臺、高真空分子泵機組、多工位檢漏系統、真空腔體及管道、真空零配件和真空設備維護等。
 
  公司已經成功服務于諸多高校,工業、半導體等企業,主要面向物理、材料、化學、低溫、光學、平板顯示等相關領域。首泉真空秉承服務為先的理念,與廣大客戶保持著良好的合作關系。

真空泵,真空計,檢漏儀,真空泵油

泵軸位置 邊立式 輸送介質 其他
葉輪數目 其他 應用領域 化工

TURBOVAC i磁懸浮分子泵TURBOVAC i 系列具有混合轉子軸承:前級真空側的軸承是終生潤滑的陶瓷滾珠軸承,高真空側的軸承為不磨損的磁浮軸承。

所有這些類型的軸承通常都無需任何潤滑油(在泵靜止的條件下,由于沒有任何抽吸作用,潤滑油可能會擴散回真空室)。

由于渦輪分子泵不能直接在大氣壓下壓縮,因此它們始終需要一個額定值足夠的前級真空泵來運行,而我們正好也提供這種泵。根據流量和終壓要求,我們提供不同的前級真空泵來滿足您的系統要求。

TURBOVAC i磁懸浮分子泵采用混合軸承系統:

高真空側:磁懸浮軸承(無機械接觸,無磨損,免維護)。

前級真空側:陶瓷滾珠軸承(終生潤滑,可現場更換)。

氣體通過高速旋轉的渦輪葉片(3000~60000 RPM)被壓縮,實現高真空抽氣。

分子泵設計理念

萊寶真空針對不同應用提供基于不同軸承和轉子技術的渦輪分子泵。如TURBOVAC系列機械軸承標準分子泵;TURBOVAC MAG系列磁懸浮軸承分子泵;TURBOVAC i/iX系列半磁浮分子泵(半磁浮分子泵僅在排氣端配置脂潤滑軸承,高真空端配置免維護的永磁軸承)。萊寶真空的分子泵均不采用油潤滑軸承可以從理論上完*避免分子泵對腔體產生碳氫化合物污染并且保證所有分子泵均可以任意角度安裝。




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