CDS混液柜是專為半導(dǎo)體、醫(yī)藥及化工領(lǐng)域設(shè)計的自動化化學(xué)液體混合與供液系統(tǒng)，集成了高精度配比、安全防護(hù)及智能化控制功能。其核心優(yōu)勢在于通過模塊化設(shè)計實(shí)現(xiàn)多組分化學(xué)液的精準(zhǔn)混合與連續(xù)供應(yīng)，同時保障操作安全性與工藝穩(wěn)定性。

一、核心功能與技術(shù)特點(diǎn)

全封閉耐腐蝕結(jié)構(gòu)

柜體采用PP、PVDF或PFA等耐酸堿腐蝕材料焊接而成，有效隔絕強(qiáng)酸、強(qiáng)堿等揮發(fā)性氣體泄漏，避免環(huán)境污染與設(shè)備腐蝕。

透明PVC觀察窗與可拆卸后門設(shè)計，便于實(shí)時監(jiān)測內(nèi)部管路狀態(tài)，快速定位故障。

高效混液與供液能力

配備雙PE材質(zhì)供液桶（如1000L容量），支持一備一用不間斷供液，滿足連續(xù)生產(chǎn)需求。

計量泵與循環(huán)過濾系統(tǒng)結(jié)合，實(shí)現(xiàn)化學(xué)液的精確配比（如光刻膠、蝕刻液濃度控制）與微粒過濾（0.2μm濾芯），確保液體潔凈度。

除泡器消除流體震動產(chǎn)生的氣泡，避免氣泡對工藝穩(wěn)定性的影響。

智能控制系統(tǒng)

PLC人機(jī)交互界面支持參數(shù)預(yù)設(shè)、流程自動化及遠(yuǎn)程監(jiān)控，減少人工干預(yù)。例如，接收主機(jī)臺信號后自動啟停供液程序，并記錄用量數(shù)據(jù)。

漏液偵測與警報系統(tǒng)覆蓋供液柜、閥箱及管道，通過雙套管設(shè)計（內(nèi)管走液，外管監(jiān)測泄漏）及時預(yù)警，防止化學(xué)品污染。

安全與環(huán)保設(shè)計

抽風(fēng)系統(tǒng)搭配差壓表實(shí)時監(jiān)測揮發(fā)性氣體排放，防爆照明與氣體偵測器適用于有機(jī)溶劑等高危場景。

水循環(huán)沖洗與氮?dú)飧稍锕δ芴娲鷤鹘y(tǒng)高溫烘干，避免治具熱損傷，同時降低能耗。

二、應(yīng)用場景與行業(yè)價值

半導(dǎo)體制造：用于光刻、蝕刻工藝中的化學(xué)液精準(zhǔn)配送，如顯影液、蝕刻液的多工位循環(huán)供液，提升芯片良品率。

醫(yī)藥研發(fā)：支持藥物中間體合成、高分子控釋劑制備等場景，模塊化配置適應(yīng)不同配方需求。

電子工業(yè)：服務(wù)于PCB蝕刻、電鍍等環(huán)節(jié)，確保化學(xué)藥劑輸送的高精度與穩(wěn)定性。

三、設(shè)備優(yōu)勢總結(jié)

兼容性強(qiáng)：適配不同尺寸治具與多類型化學(xué)液，支持定制化工藝參數(shù)。

低損耗率：精準(zhǔn)混液減少試劑浪費(fèi)，物理隔離設(shè)計延長設(shè)備壽命。

綠色節(jié)能：化學(xué)劑回收率≥90%，真空干燥能耗較傳統(tǒng)方式降低40%。

高潔凈度：顆粒過濾精度達(dá)Class 5標(biāo)準(zhǔn)，滿足制程要求。

CDS混液柜通過技術(shù)整合與創(chuàng)新，解決了傳統(tǒng)人工配液的效率低、風(fēng)險高、精度差等問題，成為半導(dǎo)體等領(lǐng)域的關(guān)鍵設(shè)備，助力客戶實(shí)現(xiàn)高效、安全、綠色的生產(chǎn)目標(biāo)。