[ZLS-23B]氦質譜檢漏儀氦質譜檢漏法是根據質譜分析的原理，以氦作探索氣體，對各種需密封的容器的漏隙進行快速定位和定量檢測的理想的方法。因氦是隋性氣體，對大氣無污染，使用安全；氦原子量小、粘度小，易滲透過任何可能存在的漏率，檢測靈敏度高、速度快、適用范圍廣；加之氦在大氣中含量少（僅萬分之五），離子質量與其它氣體離子質量相差很大，不易受干擾，不會錯判。

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  型   號              特    點
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  ZLS-23B      單主機，帶標準漏空
  ZLS-24B      帶一套粗抽系統（泵2XZ-4B），配有一只校準漏孔
  ZLS-24C      帶二套粗抽系統，適用于批量檢漏，配有一只校準漏孔
 ZLS-26D/T         渦輪分子泵（國外品牌）
               前級泵（國外品牌）
               粗抽泵（國外品牌）
               配有一只校準漏孔